Информация о станке
- Год выпуска1990
- Дата размещения09.10.2019
- Качество оборудованияБ/У, можно проверить в работе
- Местоположение станка Россия , Санкт-Петербург
Описание
Установка вакуумного напыления УВН-74П-3 (дем3.273.024) и УВН – 73 П-2
(дем.3.273.020). В наличии: 4 установки УВН-74П-3 и 1 установка УВН – 73 П-2
Назначение: нанесение тонкопленочных покрытий из металлов и других матералов на подложки из кремния, стекла, керамики, ситалла, поликора и т.д. методом термического испарения в вакууме.
Методы испарения: электронно-лучевой (2 испарителя), резистивный (1 испаритель).
Напыляемые материалы: медь, хром, алюминий, титан и др.
Описание:
Высокопроизводительная установка на базе УВН-70А-2 (установки универсальной автоматической вакуумной откачки). Технологическое устройство размещено в горизонтальной камере. Справа от установки размещается шкаф питания и управления элементами технологического устройства. Крышки камеры закреплены на горизонтальной траверсе, сдвигаются в сторону и разворачиваются, что обеспечивает легкий и удобный доступ к подложкам и технологическим устройствам.
Управление технологическим циклом обеспечивается в двух режимах – ручном и автоматическом.
Осаждение материалов происходит на подложки, которые закреплены в держателях вращающегося барабана (28 позиций).
Откачка производится паромасляным насосом Н-5Т. Предварительная откачка – вакуумный агрегат АВЗ-20 или аналогичный.
Технические характеристики:
Предельный вакуум в рабочей камере, 5*10(-7) мм рт.ст.
Время достижения рабочего вакуума 60 мин
Размеры рабочей камеры 700*550 мм * мм
Диапазон температур нагрева подложек 100-3
